AONE Titan metallischer Werkstoffe
Wolfram-Titan-Legierung Sputter-Target kann verwendet werden, um die Diffusionsbarriere für Halbleiter-Chips, die neue Solarzelle und die keramische Dünnschicht-Schaltung zu machen. Für die ohmsche Kontaktschicht der Halbleiterchips kann ein Wolfram-Silizium-Legierungs-Sputter-Target verwendet werden.
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Wolfram-Titan-Legierung Sputter-Target kann verwendet werden, um die Diffusionsbarriere für Halbleiter-Chips, die neue Solarzelle und die keramische Dünnschicht-Schaltung zu machen.
Für die ohmsche Kontaktschicht der Halbleiterchips kann ein Wolfram-Silizium-Legierungs-Sputter-Target verwendet werden.
Art | W (Gew .-%) | Ti (Gew .-%) | Si (Gew .-%) | Reinheit (Gew .-%) | Dichte(%) | Korngröße & (μm) | Dimension (max.mm) | Ra |
WTi10 | 90 ± 0,5 | 10 ± 0,5 | / | 99,9-99,999 | ≥99 | <> | 400 x 40 | ≤ 1,6 |
WTi20 | 80 ± 0,5 | 20 ± 0,5 | / | 99,9-99,995 | ≥99 | <> | 400 x 40 | ≤ 1,6 |
WSi10 | 90 ± 0,5 | / | 10 ± 0,5 | 99,9-99,999 | ≥99 | <> | 400 x 40 | ≤ 1,6 |
WSi20 | 80 ± 0,5 | / | 20 ± 0,5 | 99,9-99,999 | ≥99 | <> | 400 x 40 | ≤ 1,6 |
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